Enhancement of O $_{2}$ adsorption on Si(111)-77 by translational kinetic energy of O $_{2}$ revealed by real-time XPS using synchrotron radiation

酸素分子の並進運動エネルギーによる酸素分子の吸着促進の放射光リアルタイム光電子分光観察

Si(111)-77酸化における、酸素分子の並進運動エネルギーによる吸着促進を放射光リアルタイム光電子分光で調べた。ad成分などの酸素吸着構造や高いSi酸化状態の生成の促進が、トラッピング状態を経由する吸着過程と異なり観測された。並進運動エネルギーによる活性化吸着過程を示唆するものである。

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使用言語	:	English
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発行年月	:
発表会議名	:	5th International Symposium on Surface Science and Nanotechnology (ISSS-5)
開催年月	:	2008/11
開催都市	:	Tokyo
開催国	:	Japan
キーワード	:	no keyword

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使用施設	:	SPring-8(大型放射光施設)
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登録番号 : BB20083746
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Enhancement of O adsorption on Si(111)-77 by translational kinetic energy of O revealed by real-time XPS using synchrotron radiation

酸素分子の並進運動エネルギーによる酸素分子の吸着促進の放射光リアルタイム光電子分光観察

Enhancement of O $_{2}$ adsorption on Si(111)-77 by translational kinetic energy of O $_{2}$ revealed by real-time XPS using synchrotron radiation