Departure process of hydrogen from highly-hydrogenated diamond-like carbon film by exposure to synchrotron radiation

シンクロトロン放射光照射による高水素化ダイヤモンドライクカーボンからの水素脱離過程

神田 一浩*; 横田 久美子*; 田川 雅人*; 戸出 真由美; 寺岡 有殿; 松井 真二*

Kanda, Kazuhiro*; Yokota, Kumiko*; Tagawa, Masahito*; Tode, Mayumi; Teraoka, Yuden; Matsui, Shinji*

本研究では、真空中でシンクロトロン放射光を照射することによる高水素化ダイヤモンドライクカーボンからの水素脱離を調べた。放射光の照射はニュースバルのBL-6で行われた。放射光エネルギーは赤外から軟X線の領域で、1keV以下である。DLC薄膜中の水素濃度はラザフォード後方散乱(RBS)と弾性反跳粒子検出(ERDA)で決定した。低水素化DLCの水素濃度は軟X線照射量に依存しなかったが、高水素化DLCでは軟X線照射量に対して指数関数的に減少した。これは高水素化DLCでは軟X線の照射で水素の脱離が起こることを意味している。

In the present study, we investigated the desorption of hydrogen from highly-hydrogenated diamond-like-carbon (DLC) films by irradiation of synchrotron radiation (SR) soft X-rays in vacuum. The irradiation of SR was carried out at BL-6 of NewSUBARU. The SR energy is ranging from infra red to soft X-ray, which was lower than 1 keV. The hydrogen content in the DLC films has been determined by Rutherford backscattering (RBS) and elastic recoil detection analysis (ERDA) techniques. Although the hydrogen content in the low-hydrogenated DLC film was independent on the soft X-ray dose, that for the high-hydrogenated DLC film decreased exponentially with the soft X-ray dose. This implies that the desorption of hydrogen takes place from the high-hydrogenated DLC films by the soft X-ray irradiation.