フェムト秒レーザーアブレーションにおける蓄積効果の直接観察

Direct observation of the incubation effect on femtosecond laser ablation

富田 卓朗*; 山本 稔; 寺川 康太*; 長谷川 登; 越智 義浩; 大場 俊幸; 海堀 岳史; 河内 哲哉; 南 康夫*; 末元 徹

Tomita, Takuro*; Yamamoto, Minoru; Terakawa, Kota*; Hasegawa, Noboru; Ochi, Yoshihiro; Oba, Toshiyuki; Kaihori, Takeshi; Kawachi, Tetsuya; Minami, Yasuo*; Suemoto, Toru

フェムト秒パルスレーザー加工において、加工閾値近傍の光照射強度で起こるサブ波長の周期構造生成や低アブレーションレート領域の存在など興味深い現象が報告されているが、そのメカニズムは未解明な点が多い。その理由として、ナノメートルスケールの空間分解能で動的イメージングが可能な手法が存在しないことがあげられる。本研究では、フェムト秒レーザー照射に伴う過渡的な表面変位を捉えるために、ポンプ光とプローブの軟X線レーザーを同期させて、ポンププローブの時間分解イメージング計測を行った。さらに、ポンプ光と非同期で、フェムト秒レーザー照射部の形状をイメージングすることにより、フェムト秒レーザー加工におけるパルスの蓄積効果をその場観察することができた。

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