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Laminar and blazed type holographic gratings for a versatile soft X-ray spectrograph attached to an electron microscope and their evaluation in the 50-200 eV range

電子顕微鏡搭載汎用軟X線分光器用ラミナ型及びブレーズド型ホログラフィック回折格子とそれらの50-200eV領域における特性評価

今園 孝志; 小池 雅人; 河内 哲哉; 長谷川 登; 小枝 勝*; 長野 哲也*; 笹井 浩行*; 大上 裕紀*; 米澤 善央*; 倉本 智史*; 寺内 正己*; 高橋 秀之*; 飯田 信雄*; 村野 孝訓*; 佐野 一雄*

Imazono, Takashi; Koike, Masato; Kawachi, Tetsuya; Hasegawa, Noboru; Koeda, Masaru*; Nagano, Tetsuya*; Sasai, Hiroyuki*; Oue, Yuki*; Yonezawa, Zeno*; Kuramoto, Satoshi*; Terauchi, Masami*; Takahashi, Hideyuki*; Handa, Nobuo*; Murano, Takanori*; Sano, Kazuo*

電子顕微鏡に搭載するための汎用軟X線平面結像型分光器用ラミナ型及びブレーズ型ホログラフィック不等間隔溝球面回折格子を設計・作製・評価した。放射光を用いて実施した入射角86.00$$^circ$$におけるラミナ型マスター及びレプリカ回折格子の絶対回折効率は50$$sim$$200eV領域で5%超を示す一方、ブレーズド型の場合は8%超であった。それぞれの最大回折効率は、22%, 26$$sim$$27%であった。レーザープラズマ光源を用いた分解能実験により、すべての回折格子の分解能がLiの${it K}$発光スペクトルのエネルギー(約55eV)で700以上であることがわかった。また、透過型電顕に搭載した分光器を用いて金属Liの${it K}$スペクトルを高い分解能で計測することに成功した。

Laminar and blazed types holographic varied-line-spacing spherical gratings for use in a versatile soft X-ray flat-field spectrograph attached to an electron microscope are designed, fabricated, and evaluated. The absolute diffraction efficiencies of laminar (or blazed) master and replica gratings at 86.00$$^circ$$ incidence evaluated by synchrotron radiation show over 5% (or 8%) in the 50-200 eV range with the maxima of 22% (or 26-27%). Also the resolving power evaluated by a laser produced plasma source is in excess of 700 at the energy near the ${it K}$ emission spectrum of lithium ($$sim$$55 eV) for all gratings. Moreover, the ${it K}$ emission spectrum of metallic Li with high spectral resolution is successfully observed with the spectrograph attached to a transmission electron microscope.

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パーセンタイル:49.45

分野:Optics

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