Laminar and blazed type holographic gratings for a versatile soft X-ray spectrograph attached to an electron microscope and their evaluation in the 50-200 eV range

電子顕微鏡搭載汎用軟X線分光器用ラミナ型及びブレーズド型ホログラフィック回折格子とそれらの50-200eV領域における特性評価

今園 孝志; 小池 雅人; 河内 哲哉; 長谷川 登; 小枝 勝*; 長野 哲也*; 笹井 浩行*; 大上 裕紀*; 米澤 善央*; 倉本 智史*; 寺内 正己*; 高橋 秀之*; 飯田 信雄*; 村野 孝訓*; 佐野 一雄*

Imazono, Takashi; Koike, Masato; Kawachi, Tetsuya; Hasegawa, Noboru; Koeda, Masaru*; Nagano, Tetsuya*; Sasai, Hiroyuki*; Oue, Yuki*; Yonezawa, Zeno*; Kuramoto, Satoshi*; Terauchi, Masami*; Takahashi, Hideyuki*; Handa, Nobuo*; Murano, Takanori*; Sano, Kazuo*

電子顕微鏡に搭載するための汎用軟X線平面結像型分光器用ラミナ型及びブレーズ型ホログラフィック不等間隔溝球面回折格子を設計・作製・評価した。放射光を用いて実施した入射角86.00におけるラミナ型マスター及びレプリカ回折格子の絶対回折効率は50200eV領域で5%超を示す一方、ブレーズド型の場合は8%超であった。それぞれの最大回折効率は、22%, 2627%であった。レーザープラズマ光源を用いた分解能実験により、すべての回折格子の分解能がLiの発光スペクトルのエネルギー(約55eV)で700以上であることがわかった。また、透過型電顕に搭載した分光器を用いて金属Liのスペクトルを高い分解能で計測することに成功した。

Laminar and blazed types holographic varied-line-spacing spherical gratings for use in a versatile soft X-ray flat-field spectrograph attached to an electron microscope are designed, fabricated, and evaluated. The absolute diffraction efficiencies of laminar (or blazed) master and replica gratings at 86.00 incidence evaluated by synchrotron radiation show over 5% (or 8%) in the 50-200 eV range with the maxima of 22% (or 26-27%). Also the resolving power evaluated by a laser produced plasma source is in excess of 700 at the energy near the emission spectrum of lithium (55 eV) for all gratings. Moreover, the emission spectrum of metallic Li with high spectral resolution is successfully observed with the spectrograph attached to a transmission electron microscope.