ポリキャピラリー軟X線レンズを用いたPEEM測定の高速化

Focusing of soft X-rays using poly-capillary lens for quick PEEM measurements

平尾 法恵; 馬場 祐治  ; 関口 哲弘  ; 下山 巖   ; 成田 あゆみ

Hirao, Norie; Baba, Yuji; Sekiguchi, Tetsuhiro; Shimoyama, Iwao; Narita, Ayumi

放射光軟X線を用いた光電子顕微鏡(PEEM)は、ミクロンからナノメートル領域の電子構造,化学結合状態,分子配向などを観察できる有効な手法である。現在までにわれわれは、数分のオーダーでナノメートル領域の原子価状態観察が可能な軟X線PEEMシステムを開発してきた。しかし、薄膜成長過程などのダイナミクスのリアルタイム観察を行ううえでは、PEEM測定の高速化が重要である。そこで、集光装置としてエネルギーを変化させても焦点の位置が変化しないポリキャピラリーレンズを用い、軟X線放射光の集光を試み、PEEM観察の高速化に関する検討を行った。その結果、PEEM像観察領域の放射光強度が従来の55倍に増大し、10ミリ秒での1画像測定が可能となった。また、高速での化学結合状態観察の結果についても報告する。

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