フェムト秒レーザーアブレーション過程における軟X線反射率の局所フルエンス依存性,1

Dependence on the local fluence of soft X-ray reflection during the process of the femto second laser ablation, 1

錦野 将元; 長谷川 登; 富田 卓朗*; 南 康夫*; 武井 亮太*; 大西 諒*; 石野 雅彦; 山本 稔*; 寺川 康太*; 海堀 岳史; 河内 哲哉; 山極 満; 末元 徹

Nishikino, Masaharu; Hasegawa, Noboru; Tomita, Takuro*; Minami, Yasuo*; Takei, Ryota*; Onishi, Ryo*; Ishino, Masahiko; Yamamoto, Minoru*; Terakawa, Kota*; Kaihori, Takeshi; Kawachi, Tetsuya; Yamagiwa, Mitsuru; Suemoto, Toru

フェムト秒レーザー照射によるアブレーション等の現象の理解は、レーザープロセッシングの新たな可能性を開拓するために不可欠であるが、その基礎的なメカニズムは理解されていない。単一パルス照射によって引き起こされる過程を高空間・高時間分解能で取得したダイナミクスに関する情報は、フェムト秒レーザーによるアブレーション現象を理解するうえで重要である。そこで低密度プラズマの影響を受けずに物質表面の構造変化を直接観察することが可能な軟X線レーザーをプローブ光とするフェムト秒レーザーポンプ・軟X線レーザープローブの時間分解反射率イメージングを行い、レーザーアブレーション過程の時間分解イメージングを行った。フェムト秒レーザーの照射強度によって生成されるアブレーション領域を3つの領域に分けて得られた時間分解計測結果について講演を行う。

To improve the femtosecond laser processing technique more accurate and controllable, the knowledge about the laser ablation process is important. In order to understand the dynamics of the femtosecond laser ablation process, we performed a pump and probe reflectivity imaging of the platinum surface during the femtosecond laser ablation by using the laser-driven soft X-ray laser as a probe beam. The fluence dependence of the soft X-ray reflectivity is classified into three regions: (1) strongly excited, (2) moderately excited, and (3) weakly excited regions. In strongly excited region, the rapid reduction of the reflectivity due to the explosive evaporation in the ablation process of the material surface was observed. In the moderately excited region, the reflectivity reduction is far slower than that in the strongly excited region.