24keVにおける軟X線発光分光用ワイドバンド多層膜回折格子

Wideband multilayer gratings for soft X-ray emission spectroscopy in 2-4 keV

今園 孝志; 小池 雅人; 河内 哲哉; 長谷川 登; 小枝 勝*; 長野 哲也*; 笹井 浩行*; 大上 裕紀*; 米澤 善央*; 倉本 智史*; 寺内 正己*; 高橋 秀之*; 飯田 信雄*; 村野 孝訓*; 佐野 一雄*

Imazono, Takashi; Koike, Masato; Kawachi, Tetsuya; Hasegawa, Noboru; Koeda, Masaru*; Nagano, Tetsuya*; Sasai, Hiroyuki*; Oue, Yuki*; Yonezawa, Zeno*; Kuramoto, Satoshi*; Terauchi, Masami*; Takahashi, Hideyuki*; Handa, Nobuo*; Murano, Takanori*; Sano, Kazuo*

24keV領域の反射率を一定入射角で一様に高効率化するための新型多層膜ミラーを考案した。新型多層膜は、BC層を最上層に持つW/BC多層膜の上に、Wを最上層に持つBC/W二層膜を積層させた構造である。すなわち、積層順序を反転させている。これは、短波長側の光に対しては底部多層膜により、長波長側では上部多層膜により反射させることを意図し、汎用電子顕微鏡に搭載可能な平面結像型分光器用多層膜回折格子として応用した。一定入射角88.65、24keVにおける多層膜回折格子の回折効率を評価した結果、全エネルギー領域に渡って一様な回折効率であることがわかった。

A novel multilayer mirror has been invented to uniformly enhance the reflectivity in a few keV energy range at a fixed angle of incidence. The structure of the multilayer consists of a BC/W bilayer with topmost layer of W deposited on a W/BC multilayer with a topmost layer of BC, thus the order is inverted. This multilayer mirror is based on the scheme that the lights in the short and long wavelength ranges are reflected in the bottom and top regions, respectively. It is applied to a multilayer grating (MLG) for the purpose of use in a flat-field spectrograph attached to a conventional electron microscope. The diffraction efficiency is evaluated at the angle of incidence of 88.65 in the energy region of 2-4 keV. It is revealed that the MLG is effective to uniformly enhance the diffraction efficiency.