テーパー型マイクロチャンネルプレートのイオン検出効率

Ion detection efficiency of a tapered microchannnel plate

的場 史朗; 鳴海 一雅; 齋藤 勇一; 千葉 敦也; 山田 圭介; 神谷 富裕; 小泉 哲夫*; 高橋 果林*; 石川 学*; 守屋 宗祐*; 城丸 春夫*

Matoba, Shiro; Narumi, Kazumasa; Saito, Yuichi; Chiba, Atsuya; Yamada, Keisuke; Kamiya, Tomihiro; Koizumi, Tetsuo*; Takahashi, Karin*; Ishikawa, Manabu*; Moriya, Sosuke*; Shiromaru, Haruo*

マイクロチャンネルプレート(MCP)は、電子増倍作用がある直径10m程度の細孔を鉛ガラスに2次元的に配列した板状の検出器である。細孔に入射した粒子が検出されるので、検出効率はMCPの表面積に対する全細孔の開口面積の比である開口率によって制限され、開口率が60%前後の従来のMCPの最大検出効率は60%程度である。そこで、開口率を上げれば検出効率が増加すると考え、入射部にテーパー加工を施して開口率を90%にしたMCPを開発し、0.5-13.5keVのXeイオン及びNeイオンに対する検出効率を測定した。検出効率は低いエネルギー領域ではエネルギーの増加に伴い上昇した。これは二次電子放出率がエネルギーとともに上昇するためだと考えられる。一方、Neイオンでは4keV以上、Xeイオンでは6keV以上のエネルギーで検出効率はいずれも一定値89%を示し、テーパー部も含んだ開口率に迫った。以上の結果から、テーパー加工を施して開口率を向上させることがイオン検出の高効率化に有効であることが確かめられた。

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