X線イメージングに向けたレジストの単色X線に対する感度評価

Evaluation of resist sensitivity for X-ray microscopy

鷲尾 方一*; 大山 智子

Washio, Masakazu*; Oyama, Tomoko

X線顕微鏡はX線を試料に照射し、その透過・吸収情報によって試料を観察する顕微鏡である。高分解能レジストを感光材料として用いることで、ナノスケールの観察が可能になる。これまで報告されている撮像例は白色X線源を用いて試料の密度分布を取得したものであるが、単色X線を用いれば試料の元素分布が取得できると考えられる。そこで、3.1nmから6.7nmの間の複数の単色軟X線を用い、候補となる高分解能レジストの感度評価を行った。感度はレジストの吸収特性に応じて照射波長によって大きく変化したものの、感光に必要な吸収線量は波長によらず一定となった。これは、放射線化学反応(レジストの分解や架橋に基づく溶解度変化)が各波長で同じであることを示している。この結果をもとに、ある波長におけるレジストの感度を理論的に予測することに成功した。波長に応じて高感度レジストを簡単に選択できるだけでなく、適正な照射量を簡単に予測・補正し、精度よく撮像することが可能であると考えられる。

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