FE-SEM/EPMA軟X線分光法による微量超軽元素分析

Trace very light element analysis using soft X-ray emission spectrometry in FE-SEM/EPMA

高橋 秀之*; 朝比奈 俊輔*; 村野 孝訓*; 高倉 優*; 寺内 正己*; 小池 雅人; 今園 孝志; 小枝 勝*; 長野 哲也*; 笹井 浩行*; 大上 裕紀*; 米澤 善央*; 倉本 智史*

Takahashi, Hideyuki*; Asahina, Shunsuke*; Murano, Takanori*; Takakura, Yu*; Terauchi, Masami*; Koike, Masato; Imazono, Takashi; Koeda, Masaru*; Nagano, Tetsuya*; Sasai, Hiroyuki*; Oue, Yuki*; Yonezawa, Zeno*; Kuramoto, Satoshi*

市販のEPMAおよびFE-SEMに搭載できる分光範囲50210eVの軟X線分光器(SXES)を開発した。このSXESは、光電子分光器(XPS)や電子エネルギー損失分光器(EELS)に匹敵する高いエネルギー分解能(0.2eV程度)を持ち、更に、高P/B比と高感度なことにより微量超軽元素分析が可能である。この特長により、FE-SEMを用いても鋼中の微量炭素を100ppm以下の感度で検出できること、微小領域における微量超軽元素の観察・分析に有効であることがわかった。

We developed a soft X-ray emission spectrometer (SXES) with a detection range of 50-210 eV to be able to be installed in commercially available EMPAs and FE-SEMs. This SXES has the spectral resolution of 0.2 eV comparably high with X-ray photo emission spectrometers (XPSs) and electron energy-loss spectrometers (EELSs). In addition, it allows us to perform trace light element analysis with high sensitivity because of high peak-to-background ratio (P/B). Therefore, it is shown that the SXES installed in a FE-SEM can detect trace carbon in steel at the level of 100 ppm and below.