超音波による微小液膜厚さの測定

Thin liquid film thickness measurement by ultrasound

和田 裕貴   ; 佐川 淳*; 広瀬 意育*; 佐藤 聡 ; 柴本 泰照 ; 与能本 泰介 

Wada, Yuki; Sagawa, Jun*; Hirose, Yoshiyasu*; Satou, Akira; Shibamoto, Yasuteru; Yonomoto, Taisuke

本研究では、パルスエコー法を利用した測定可能液膜厚さをより小さくするために中心周波数15MHzの圧電素子と独自の駆動回路を用いた超音波液膜厚さ測定装置を製作した。本装置では先行研究よりも使用する周波数が高いことから、0.2mm程度の液膜厚さまでは液膜内多重反射波が干渉することなく明確に分離して観測可能であり、それ以下の液膜厚さにおいても高い精度での液膜厚さ測定の可能性が示された。

In this study, ultrasound liquid film thickness measurement system is developed to measure thin liquid film thickness using a piezo element of 15 MHz and an original driving circuit by the pulse-echo method. Since our system is higher frequency than previous study, we can observe individually multi-reflected signals in the liquid film until 0.2 mm thickness and it is indicated that high accuracy liquid film thickness measurement will be possible less than 0.2 mm thickness.