イオンビーム照射によるフッ素系高分子材料の微細加工

Microfabrication of fluoropolymers using ion beam irradiation

フッ素系高分子材料は、耐化学薬品性が高いがゆえ、従来の微細加工技術が適用できない。そこで、放射線には容易に分解される特性を利用した微細加工技術の研究が進められている。我々は放射線の中でもイオンビームに着目し、イオンビームがもたらす多様な照射効果を利用した新しい微細加工技術の開発に取り組んできた。イオン注入法では、PTFE表面に金型を利用することなく、照射だけで芝生のような微小突起が密集した構造面を作製できる。プロトンビーム描画法では、入射イオンがPTFE内部に侵入する過程で発生した分解ガスを利用し、PTFE表面に内部から隆起した頂点を持つ構造体を作製することができる。またプロトンビーム描画法の後にイオン注入法を行うことによって、芝生状突起構造面に平滑な線の描画形状が形成された構造を作製できる。今回は、イオン注入法、プロトンビーム描画法、及び両手法を組み合わせた計3種類の技術を使って得られる微細加工法について述べた。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	放射線化学(インターネット)
巻	:
号	:	104
ページ数	:	p.29 - 34
発行年月	:	2017/10
発表会議名	:
開催年月	:
開催都市	:
開催国	:
キーワード	:	イオンビーム加工; フッ素樹脂; 微細加工

特許データ	:
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使用施設	:	TIARA(イオン照射研究施設)
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登録番号 : AA20170595
抄録集掲載番号 : 46000384
論文投稿番号 : 19980

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