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Improvement in sputtering rate uniformity over large deposition area of large-scale ion beam sputtering system

J-PARCにおける中性子偏極スーパーミラー開発の最近の進展

丸山 龍治  ; 山崎 大 ; 阿久津 和宏*; 花島 隆泰*; 宮田 登*; 青木 裕之 ; 曽山 和彦 

Maruyama, Ryuji; Yamazaki, Dai; Akutsu, Kazuhiro*; Hanashima, Takayasu*; Miyata, Noboru*; Aoki, Hiroyuki; Soyama, Kazuhiko

中性子偏極スーパーミラーは、熱及び冷中性子ビームを偏極するための光学素子であり、実機への応用には高偏極率であるとともに必要な外部磁場を小さく抑えること、即ち偏極スーパーミラーを構成する磁気多層膜が磁気的にソフトであることが重要である。本発表では、J-PARC MLFの共用ビームラインBL17等を用いて得られた偏極スーパーミラーの高偏極率化、及び磁気多層膜の軟磁性化を目指しこれを構成する多層膜特有の磁気特性の解明に関する成果について議論する。

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