NbドープしたSrTiOに対して微小入射角で高速重イオン照射した際に形成される表面ナノ構造

Surface nanostructure of Nb-Doped SrTiO irradiated with swift heavy ions at grazing incidence

石川 法人   ; 藤村 由希; 近藤 啓悦  ; Szabo, G. L.*; Wilhelm, R. A.*; 小河 浩晃  

Ishikawa, Norito; Fujimura, Yuki; Kondo, Keietsu; Szabo, G. L.*; Wilhelm, R. A.*; Ogawa, Hiroaki

SrTiO等のセラミックスに対して高速重イオンを微小入射角で照射すると、ヒロックチェーン(イオンの飛跡に沿って、複数個並んで形成されるナノヒロック)が表面付近に形成されることが知られている。我々は、ヒロックチェーンの形態・性状をAFM(原子間力顕微鏡)とSEM(走査型電子顕微鏡)を利用して、詳細に調べた。その際に、全く同じヒロックチェーンを、AFMとSEMのそれぞれで観察することに成功した。AFMの観察データは、先行研究の示す通りに、ヒロックチェーンが形成されていることを示している一方で、SEMの観察データは(同じヒロックチェーンを観察しているにもかかわらず)ヒロックチェーンをつなぐ黒い線状コントラストも現れることが判明した。新しいSEMデータをもとに、ヒロックチェーンの形成メカニズムについて推論する。

Surface nanostructure of Nb-doped SrTiO irradiated with swift heavy ions at grazing incidence was investigated by AFM (atomic force microscopy) and SEM (scanning electron microscopy). AFM picture and SEM picture shows different appearance. Based on the new SEM results, mechanism of surface nanostructure formation is discussed.