On the grain boundary segregation of Sn in indium-tin-oxide thin films

インジウム・スズ酸化物薄膜中のスズの粒界析出

Morikawa, Hiroshi*; Kurata, Hiroki; Fujita, Miya*

液晶ディスプレイの透明電極等で広く利用されているインジウム・スズ酸化物(ITO)は、スズのドープ量により伝導性が変化することが知られている。本研究ではITO薄膜中のスズの析出挙動を研究する目的で、走査型透過電顕(STEM)と電子エネルギー損失分光法(EELS)による観察・測定を行った。その結果、ドープされたスズの一部は結晶流界に析出することを明らかにし、その挙動は、出発物質である非晶質ITO薄膜の熱処理条件に依存することが判明した。また、析出領域は数nmの範囲であり、STEM-EELS法による局所分析法の有効性も明らかになった。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Journal of Electron Microscopy
巻	:	49
号	:	1
ページ数	:	p.67 - 72
発行年月	:	2000/04
発表会議名	:
開催年月	:
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開催国	:
キーワード	:	ITO; EELS; 析出; 薄膜

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論文URL	:	https://doi.org/10.1093/oxfordjournals.jmicro.a023794
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Access	:	- Accesses
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InCites™	:	パーセンタイル：51.46 分野：Microscopy
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登録番号 : A20000164
抄録集掲載番号 : 300039
論文投稿番号 : 18649

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