酸素分子の並進運動エネルギー誘起Si(001)表面初期酸化過程の放射光光電子分光法による「その場」観察

"In-situ" observation using synchrotron radiation photoemission spectroscopy on initial Si(001) oxidation caused by translational kinetic energy of O $_{2}$

これまでわれわれは、SPring-8の原研専用軟X線ビームラインBL23SUに表面化学反応分析用実験ステーションを建設し、酸素分子の並進運動エネルギーによってSi(001)表面の酸化が促進されることを見いだした。また、第一原理計算で予測される酸素分子の解離吸着反応のポテンシャルエネルギー障壁を実験的に検証することに成功した。今回、SPring-8の原研専用軟X線ビームラインBL23SUを利用した「その場観察」放射光光電子分光により、並進運動エネルギーに依存した表面酸化状態(SiO $_{x}$ : x=1-4)を、Si2pの内殻準位シフトから明らかにしたので報告する。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	真空
巻	:	44
号	:	3
ページ数	:	p.195 - 198
発行年月	:	2001/03
発表会議名	:	第41回真空に関する連合講演会
開催年月	:	2000/10
開催都市	:	吹田
開催国	:	日本
キーワード	:	放射光; 光電子分光; 並進運動エネルギー; 酸化; 酸化状態

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論文URL	:	https://doi.org/10.3131/jvsj.44.195
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登録番号 : B20000765
抄録集掲載番号 : 290722
論文投稿番号 : 18278

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