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Soft X-ray reflectivity and structure evaluation of CoCr/C multilayer X-ray mirrors for spectral region around 6nm

CoCr/C多層膜X線ミラーの軟X線反射率と構造解析

竹中 久貴*; 永井 宏明*; 伊東 恒*; 村松 康司; 川村 朋晃*; Gullikson, E. M.*; Perera, R. C. C.*

Takenaka, Hisataka*; Nagai, Komei*; Ito, Hisashi*; Muramatsu, Yasuji; Kawamura, T.*; Gullikson, E. M.*; Perera, R. C. C.*

6nm領域における軟X線マイクロスペクトロスコピーに利用され得る高反射率の多層膜X線ミラーを設計・開発した。具体的にはマグネトロンスパッタ法を用いて、直入射条件下で高反射率が得られるCoCr/C多層膜ミラーを作製した。この多層膜ミラーの反射率を測ったところ、88°の入射角において、11.5%($$lambda$$=6nm)であった。この膜をアニール処理すると、反射率は13%に向上し、高反射率の多層膜を開発するうえで、アニール処理が重要であることを示した。

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分野:Instruments & Instrumentation

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