竹中 久貴*; 永井 宏明*; 伊東 恒*; 村松 康司; 川村 朋晃*; Gullikson, E. M.*; Perera, R. C. C.*
Takenaka, Hisataka*; Nagai, Komei*; Ito, Hisashi*; Muramatsu, Yasuji; Kawamura, T.*; Gullikson, E. M.*; Perera, R. C. C.*
6nm領域における軟X線マイクロスペクトロスコピーに利用され得る高反射率の多層膜X線ミラーを設計・開発した。具体的にはマグネトロンスパッタ法を用いて、直入射条件下で高反射率が得られるCoCr/C多層膜ミラーを作製した。この多層膜ミラーの反射率を測ったところ、88°の入射角において、11.5%(
=6nm)であった。この膜をアニール処理すると、反射率は13%に向上し、高反射率の多層膜を開発するうえで、アニール処理が重要であることを示した。
no abstracts in English
使用言語 |
: | English |
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掲載資料名 |
: | |
巻 |
: | 467-468 |
号 |
: | Part1 |
ページ数 |
: | p.337 - 340 |
発行年月 |
: | 2001/07 |
発表会議名 |
: | 7th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI 2000) |
開催年月 |
: | 2000/08 |
開催都市 |
: | Berlin |
開催国 |
: | Gernamy |
キーワード |
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論文URL |
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論文解説記事 |
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Access |
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- Accesses |
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InCites™ |
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パーセンタイル：52.36 分野：Instruments & Instrumentation |
Altmetrics |
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