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木内 清; 近藤 達男
日本金属学会誌, 47(6), p.494 - 501, 1983/00
プラズマと接する核融合炉第一壁構造材料は、プラズマのエネルギー損失を少なくする為に、出来る限り表面からの粒子の放出を抑える事が必要である。粒子の放出にはいくつかの過程があるが最も重要なものは、スパッタリングである。純金属の物理スパッタリングは、よく研究されているが、酸化の影響を考慮したこの種の研究は比較的小ない。本報では、いくつかの条件で予備酸化したMo表面についてアルゴンイオンによるスパッタリングを行い、2次陽イオンの示性定量分析法を用いて酸化の影響を調べた。この結果、金属およびMoO
表面のスパッタリングは、ほぼ物理スパッタリングのモデルから想定される傾向を示すが、MoO
表面では、スパッタリング収率が一次イオン密度や時間に依存して変化し、見かけ上2ケタ以上異なる2つのスパッタリング収率を示した。これはMoOが気性酸化物であるため、スパッタリング速度により(MoO)n型の結合の弱い吸着層とMoO固相の2つの表面状態をとるためと分った。
小原 建治郎; 阿部 哲也; 中村 博雄
JAERI-M 7216, 34 Pages, 1977/08
モリブデンによる蜂の巣構造壁の実効的スパッタリング収率を重量測定法により求めた。平板と蜂の巣構造壁の試料は直流2極スパッタリング装置により、アルゴングロー放電中で同時に照射された。入射粒子のエネルギー範囲は500~1000eV、入射角度はほぼ垂直であった。実験は蜂の巣構造の深さ(L)と幅あるいは直径(D)の比、L/Dをパラメータとし、照射後の平板および蜂の巣構造壁試料の重量減少の比を求めた。それによると、角孔蜂の巣構造の場合、L/Dが1以上においては平板に比べ、実効的スパッタリング収率が1/20~1/30と減少した。また、照射前後にかいて蜂の巣構造壁の試料表面を走査型電子頭徴鏡により観察したが、それによると蜂の巣構造の側壁が、スパッタ粒子を捕捉していることがわかった。
曽根 和穂; 大塚 英男; 阿部 哲也; 山田 礼司; 小原 建治郎; 成沢 忠*; 塚越 修*; 佐竹 徹*; 小宮 宗治*
真空, 20(4), p.136 - 141, 1977/04
室温におけるモリブデンのスパッタリング収率をオージェ電子分光法を用いて測定した。イオンビームは0.1~6keVのプロトンである。この方法は10
atoms/ion程度の微小なスパッタリング収率を測定するには有力な方法である。また熱分解黒鉛のスパッタリング収率を測定するには有力な方法である。また熱分解黒鉛のスパッタリング収率を上記エネルギー範囲のプロトンについて、物理的スパッタリング収率と化学的スパッタリング収率を分けて測定することに成功した。また本論文は昨年11月26日学振141委員会の研究会および、11月27日真空に関する連合講演会において講演した内容をまとめたものである。
