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二神 常爾*; 青木 康; 依田 修; 永井 士郎
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 88, p.261 - 266, 1994/00
被引用回数:19 パーセンタイル:81.96(Instruments & Instrumentation)-Al
O
及びMgOにCu,Crをイオン注入し、金属元素の荷電状態をXPSにより調べた。イオン注入量が小さい場合金属元素は陽イオン(Cr
,Cu
)として捕捉された。一方で、注入量が大きくなると、0価(Cr
,Cu
)で捕捉される原子の割合が増大した。Perezらにより提唱された統計モデルによりCrに関する実験結果を解釈した。その結果、
-Al
O
中では孤立したCr原子及びダイマーの一部が3価として捕捉されることが分った。MgO中のCrについては、孤立した原子、ダイマー、トリマーが3価として捕捉される。より高次元のポリマーは0価として捕捉される。イオン注入試料(MgO)の光吸収スペクトル(可視域)を調べたところ、F(F
)中心、F
中心、V
中心などの存在が確認された。Cr,Cuを注入した試料中でKrイオンを注入した試料よりも、これらの格子欠陥は効率的につくられる。これらの格子欠陥はCr,Cuのトラッピングサイトと関係あるに違いない。
二神 常爾*; 青木 康; 依田 修; 永井 士郎; D.M.Rueck*
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 80-81, p.1168 - 1170, 1993/00
被引用回数:3 パーセンタイル:42.86(Instruments & Instrumentation)-アルミナおよび酸化マグネシウムの単結晶に200keVおよび300keVのCr
あるいはCu
を注入してXPSスペクトルを測定した。スペクトルの深さ分布の解析から、Cr
の濃度は注入Cr原子の濃度と共に増加するのに対し、Cr
の濃度は注入Cr原子の濃度が高くなると飽和することを見出した。このCr
濃度の飽和は、
-アルミナ中では濃度比Cr/Alが0.05以上で、一方酸化マグネシウム中では濃度比Cr/Mgが0.30以上で起り、したがってCr
は酸化マグネシウム中でより安定に捕捉されることを示した。Cu
の存在は酸化マグネシウム中でのみ検出され、Cu
/(Cu
+Cu
)の濃度比は注入Cu原子の濃度と共に減少した。
二神 常爾*; 永井 士郎
日本学術振興会マイクロビームアナリシス第141委員会第73回研究会資料,No. 849, p.7 - 12, 1992/00
イオン注入された元素のターゲット内でのトラッピング・サイトを調べるために、MgO及び-Al
O
の単結晶にCrイオンを注入して、その荷電状態をXPSにより調べた。その結果、Crは0価または3価として安定に存在することが分った。Cr
とCr
の割合はCrの全濃度によって決められる。Crの全濃度とともにCr
の割合は減少しCr
の割合は増大する。また、Al
O
中ではCr
の濃度とともにAl
の濃度が増大した。これは注入したCrとAlの間で荷電の置換が起きていることを意味する。Cr
はAl格子位置を占めていると考えられる。一方で、MgO中のCr
の濃度はAl
O
中の濃度よりも大きい。MgO中のCr
は格子欠陥を伴って存在すると考えられる。光吸収スペクトルの測定からMgO中でF(F
)中心、V
中心、F
中心が形成されていることが示された。これらの欠陥がCr
と結合しているか否かは、現在のところ定かではない。