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大図 章; 江坂 文孝; 川北 裕司*; 岡本 隆太*; 今城 勝治*; 小林 喬郎*
Reviewed and Revised Papers Presented at the 23rd International Laser Radar Conference (ILRC-23), p.107 - 108, 2006/07
アスベストからのレーザー誘起蛍光を画像計測することにより浮遊アスベスト粒子の可視化計測を実証した。波長266nmの紫外パルスレーザー光を密閉容器内の浮遊アスベストに照射し、アスベストから発する蛍光をローパスフィルターが備え付けられた高速ゲート機能付IICCDカメラで観測することにより一つの画像内に浮遊する多数のアスベスト粒子をまとめて可視化することができた。この画像から画像処理により浮遊アスベストの個数やサイズを導出することが可能である。この技術は、大気中の浮遊アスベスト濃度のリモートモニタリング技術として役に立つと期待される。
大図 章; 岡本 隆太*; 川北 裕司*
クリーンテクノロジー, 16(3), p.56 - 61, 2006/03
近年の半導体及び大型ディスプレイパネルの製造現場であるクリーンルーム(CR)では、気中に浮遊する微粒子の数量,粒径を簡便にリアルタイムでモニタリングできる計測器を必要としている。原子力関連施設から大気中に放出されるエアロゾルの検出を目的に開発した遠隔パーティクルカウンター技術をCR用に応用した微粒子遠隔計測システムを開発した。レーザーの出射及び受信光学系を改良することにより狭い室内でも使用可能となった。現在、6mまでの室内空間において粒径約0.5ミクロンまでの空間に浮遊する微粒子をモニタリングすることができ、粒径分布まで測定することができる。また、レーザー装置,カメラ感度及びレンズ倍率を改良することにより粒径0.3ミクロンまでの微粒子を測定できる目途をつけることができた。この計測手法と現在開発中のCR用計測器の性能について報告する。
大図 章; 川北 裕司*; 岡本 隆太*
Proceedings of 7th International Congress on Optical Particle Characterization (OPC 2004) (CD-ROM), 5 Pages, 2004/00
従来の微粒子計測器は、装置周辺の大気に浮遊する微粒子を直接計測することによって微粒子数量及び粒径を求めるものである。これらの計測器は、空気吸引を基本とするために、計測に数分程度必要とし変動の激しい大気微粒子のリアルタイム計測は困難であり、かつ遠隔大気中の微粒子の直接計測は不可能であった。このような問題点を克服する方法として、イメージングライダーを用いた遠隔大気中の微粒子数量及び粒径分布をリアルタイムで計測可能な新規の粒子計測器を開発した。この計測器を校正するために室内試験を実施し、従来の粒子計測器で得られる計測結果と比較した。その結果、粒径0.6ミクロンまでの粒子数及び粒径分布がリアルタイムで首尾よく計測できることがわかった。
坂本 淳志; 佐野 雄一; 小藤 博英; 渡部 雅之; 小泉 健治; 岡本 紗苗*; 三角 隆太*; 上ノ山 周*
no journal, ,
遠心抽出器のロータ回転数がUの抽出挙動に与える影響について、試験により評価した。ロータ回転数の増加に伴い、分散相の液滴径が減少し反応表面積が増加する一方、吸込性能の上昇により混合時間が低下するため、U抽出の段効率は所定のロータ回転数で最大となることを確認した。