イメージング遠隔パーティクルカウンター; 後方散乱光を利用する新しい浮遊微粒子の遠隔計測システム

Remote particle counter for clean rooms

大図 章  ; 岡本 隆太*; 川北 裕司*

Ozu, Akira; Okamoto, Ryuta*; Kawakita, Hiroshi*

近年の半導体及び大型ディスプレイパネルの製造現場であるクリーンルーム(CR)では、気中に浮遊する微粒子の数量,粒径を簡便にリアルタイムでモニタリングできる計測器を必要としている。原子力関連施設から大気中に放出されるエアロゾルの検出を目的に開発した遠隔パーティクルカウンター技術をCR用に応用した微粒子遠隔計測システムを開発した。レーザーの出射及び受信光学系を改良することにより狭い室内でも使用可能となった。現在、6mまでの室内空間において粒径約0.5ミクロンまでの空間に浮遊する微粒子をモニタリングすることができ、粒径分布まで測定することができる。また、レーザー装置,カメラ感度及びレンズ倍率を改良することにより粒径0.3ミクロンまでの微粒子を測定できる目途をつけることができた。この計測手法と現在開発中のCR用計測器の性能について報告する。

In recent years, particle counting devices capable of monitoring particles suspended in air on real-time basis are of considerable practical concern in the fields of semiconductor and large display panel industries. A remote particle counter, which had been developed for monitoring aerosols released in air from nuclear facilities, has been applied to a measurement system for clean rooms used in the fields. It can visualize the particles in narrow space at a distance of 6m and derive the number and size distribution of particles with diameter of above 0.5 microns. By improving the laser energy, sensitivity of the image intensifier camera, and magnification of the zoom lens used in the system, it is possible to detect the particles with diameters of below 0.5 microns. The method and the current performance of the measurement system are described.