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阿部 哲也
実用真空技術総覧, p.1024 - 1026, 1990/11
図書「実用真空技術総覧」の分担執筆として、セラミックターボ分子ポンプの開発現状を紹介した。核融合装置用真空ポンプとして、日本原子力研究所で開発したセラミックターボ分子ポンプの構造および性能を述べ、耐磁場・耐放射線性に優れていることに言及した。また、電気を動力源として使用していないので、着火源がなく、爆発・引火物しの真空排気に対して固有安全性を有していることも、強調した。
阿部 哲也
日本原子力学会誌, 31(10), p.1106 - 1108, 1989/10
耐磁場・耐放射線性を有する核融合用真空ポンプの開発を目的として、現在開発中のセラミックターボ分子ポンプについて述べた。ターボ分子ポンプに耐磁場・耐放射線性等の特質を持たすための構造条件としては、(1)渦電流対策として、回転可動部を全て電気絶縁材で構成する(2)磁場との相互作用を無くすため、電気モーター、磁気ベアリングなど通電コイルを有するものを使用しない(3)潤滑油を使用しない、などである。以上からポンプの構造は、(1)セラミックス製羽根車(Si
N
製)(2)ガスベアリング(3)非接触シールおよび(4)ガスタービンなどからなっている。現在得られている真空性能としては、排気性能0.5m
sec
、到達圧力10
Paなどである。
