Improvement in surface roughness of nitrogen-implanted glassy carbon by hydrogen doping

窒素イオン注入による表面粗さの水素導入による改善

高広克巳*; 竹島直樹*; 川面澄*; 永田晋二*; 山本春也; 鳴海一雅; 楢本洋

Takahiro, Katsumi*; Takeshima, Naoki*; Kawatsura, Kiyoshi*; Nagata, Shinji*; Yamamoto, Shunya; Narumi, Kazumasa; Naramoto, Hiroshi

窒素イオン注入によるガラス状炭素の表面改質の研究において、表面粗さの増大が問題になった。そこで、非晶質炭素の結合状態を変更するため、水素イオンの追加注入による効果を調べた。実際の実験では、水素イオン注入の代わりに重水素イオンを注入して、結合状態と表面粗さとの相関を調べた。その結果、炭素-窒素の結合状態は表面粗さの増大に関係し、一方水素を付加的に導入すると、炭素,窒素及び水素が3元系の化合物を作り、その結果表面平滑性が保たれることを見出した。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	JAERI-Review 2001-039, TIARA Annual Report 2000
巻	:
号	:
ページ数	:	p.188 - 189
発行年月	:	2001/11
発表会議名	:
開催年月	:
開催都市	:
開催国	:
キーワード	:	非晶質炭素; 表面平滑性; イオン注入; 窒素; 水素; 重水素

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.11484/jaeri-review-2001-039
研究データの公開先DOI	:
使用施設	:	TIARA(イオン照射研究施設)
広報プレスリリース	:
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登録番号 : A20010299
抄録集掲載番号 : 47000330
論文投稿番号 : 21008

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