放射光リアルタイム光電子分光を用いた酸素ガスによるSi(001)表面の熱酸化初期過程の「その場」観察

Real-time observation of initial stages thermal oxidation on Si(001) surface by using synchrotron radiation photoemission spectroscopy

Yoshigoe, Akitaka; Moritani, Kosuke; Teraoka, Yuden

Si(001)表面の酸素分子(110 $^{-4}$ Pa)による初期熱酸化過程(表面温度: 870K1120K)を明らかにするために、放射光Si-2p及びO-1sリアルタイム光電子分光観察を行った。吸着酸素量の時間変化を反応速度論に基づいて解析し、酸素吸着量に対応したSi酸化状態をSi-2p光電子スペクトルの時間発展から明らかにした。

In order to study the reaction mechanism of the initial thermal Si(001) oxidation by O $_{2}$ (110 $^{-4}$ Pa) at the surface temperature region between 870K and 1120K, we have performed the synchrotron radiation photoemission spectroscopy of Si-2p and O-1s levels. The oxygen uptake curves as a function of the oxygen exposure time were analyzed on the basis of kinetics. The Si oxidation states corresponding to the adsorbed oxygen amount were well clarified by the time evolution of Si-2p photoemission spectra.

使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	真空
巻	:	46
号	:	5
ページ数	:	p.424 - 428
発行年月	:	2003/05
発表会議名	:	第43回真空に関する連合講演会
開催年月	:	2002/10
開催都市	:	豊中
開催国	:	日本
キーワード	:	Si(001); 熱酸化; 酸素分子; 放射光; 光電子分光; リアルタイム; 酸化状態; 速度論; Si-2p; O-1s

特許データ	:
PDF	:

論文URL	:	https://doi.org/10.3131/jvsj.46.424
研究データの公開先DOI	:
使用施設	:	SPring-8(大型放射光施設)
広報プレスリリース	:
論文解説記事 (成果普及情報誌)	:
受委託・共同研究相手機関	:

Access	:	- Accesses
Web of Science® Times Cited Count	:	被引用回数：評価・統計等のため最新の被引用回数を確認したい場合は、直接Web of Science®をご確認ください。 http://www.webofknowledge.com/wos
InCites™	:
Altmetrics	:

登録番号 : B20020635
抄録集掲載番号 : 310873
論文投稿番号 : 20366

[CLARIVATE ANALYTICS], [WEB OF SCIENCE], [HIGHLY CITED PAPER & CUP LOGO] and [HOT PAPER & FIRE LOGO] are trademarks of Clarivate Analytics, and/or its affiliated company or companies, and used herein by permission and/or license.