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X-ray diffraction of SrTiO$$_{3}$$/BaTiO$$_{3}$$ multilayer films

SrTiO$$_{3}$$/BaTiO$$_{3}$$多層膜のX線回折

米田 安宏*; 岡部 達*; 阪上 潔*; 寺内 暉*

Yoneda, Yasuhiro*; not registered; Sakaue, Kiyoshi*; Terauchi, Hikaru*

チタン酸バリウムとチタン酸ストロンチウムは同じペロフスカイト型の構造をしており、しかもミスマッチが小さいことから、良質の多層膜の作製が可能である。誘電体における、多層膜構造内のエピタキシャル効果を調べるために、MBE法を用いた反応性蒸着によってモジュレーションを変えた数種類の多層膜を作製した。X線回折によって格子定数を精密に調べたところ、明瞭な周期長依存性があり、作製した多層膜の中にはバルクのPoisson比を保持できなくなるくらい、格子定数が大きく歪んだものがあった。

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