Role of reflection and sputtering in ion impact desorption of gases from solid surfaces

固体表面からの気体のイオン衝撃脱離の機構

not registered; Nagai, Shiro; Ozawa, Kunio*

イオン衝撃による気体の固体表面からの脱着は、核融合におけるプラズマ/壁相互作用の重要な素過程である。このイオン衝撃脱離について、脱着断面積のエネルギー依存性に注目して、脱着断面積をWinters and Sigmund理論により解析的に計算し、文献から収集した実験データと比較した。比較の対象とした53の入射イオン/固体表面/吸着分子(原子)の系のうち、32の系については計算と実験がよく一致した。脱着機構を考慮するため、軽イオンによる脱着は主として反射イオンと吸着原子との衝突、一方重イオンによる脱着はスパッタされた固体構成原子と吸着原子との衝突によると仮定して脱着断面積の計算式を求めた。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Journal of Nuclear Materials
巻	:	168
号	:
ページ数	:	p.162 - 170
発行年月	:	1989/00
発表会議名	:
開催年月	:
開催都市	:
開催国	:
キーワード	:	イオン衝撃脱離

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.1016/0022-3115(89)90578-3
研究データの公開先DOI	:
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Access	:	- Accesses
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InCites™	:	パーセンタイル：0.01 分野：Materials Science, Multidisciplinary
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登録番号 : A19880283
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 9505

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