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Ion-impact desorption

イオン衝撃による脱着

押山 孝*; 永井 士郎; 小沢 国夫*

not registered; Nagai, Shiro; Ozawa, Kunio*

イオン衝撃による固体表面からの気体の脱着は、核融合におけるプラズマ/壁相互作用の重要な素過程の一つである。本報告書ではまず、種々の衝撃イオン/気体/固体表面についてWinters and Sigmund理論による脱着断面積の計算を行った。次に、この計算結果を、別に文献から収集した実験データとの比較を行った。この比較から、対象とした51系のうち28系がこの理論で説明できることが見出された。この28の系についてはさらに、軽イオン衝撃による脱着が反射イオンによる吸着原子のノックイオン、一方、重イオンによる脱着がスパッタされた固体原子による吸着原子のノックイオン効果のみによるとして脱着断面積のエネルギー依存性をそれぞれ表式化し、これらの式を用いた計算結果と実験データを比較した。

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