リアルタイム光電子分光による極薄チタニウム酸化膜形成過程の「その場」観察

In-situ observation of growth of very thin oxide on Ti surfaces by real-time photoelectron spectroscopy

Takakuwa, Yuji*; Ishizuka, Shinji*; Yoshigoe, Akitaka; Teraoka, Yuden

Ti(0001)表面が酸素ガスによって酸化される様子を実時間その場光電子分光観察した結果について解説する。Ti-2p光電子スペクトルが金属TiからTiO $_{2}$ に変化する様子から各酸化成分の時間変化が明らかとなった。

Real-time in-situ photoemission spectroscopic studies on Ti(0001) oxidation by O $_{2}$ molecules at 473K-673K are reviewed. The Ti(0001) surface was changed from metal to oxide during exposure to oxygen gas. From the time dependent Ti-2p photoemission spectra, time evolution of each oxide component of Ti was clarified.

使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	化学工業
巻	:	54
号	:	9
ページ数	:	p.687 - 692
発行年月	:	2003/09
発表会議名	:
開催年月	:
開催都市	:
開催国	:
キーワード	:	Ti(0001); O $_{2}$ ; Oxidation; Ti 2p; Photoemission Spectroscopy; Real Time Observation; In-situ Observation

特許データ	:
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論文URL	:	https://ci.nii.ac.jp/naid/80016077080
研究データの公開先DOI	:
使用施設	:	SPring-8(大型放射光施設)
広報プレスリリース	:
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Access	:	- Accesses
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登録番号 : A20030292
抄録集掲載番号 : 320127
論文投稿番号 : 20661

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