木下 明将*; 岩見 基弘*; 小林 健一*; 中野 逸夫*; 田中 礼三郎*; 神谷 富裕; 大井 暁彦; 大島 武; 福島 靖孝*
Kinoshita, Akimasa*; Iwami, Motohiro*; Kobayashi, Kenichi*; Nakano, Itsuo*; Tanaka, Reisaburo*; Kamiya, Tomihiro; Oi, Akihiko; Oshima, Takeshi; Fukushima, Yasutaka*
高エネルギー物理の実験で使用可能な炭化ケイ素(SiC)ダイオードを用いた耐放射線性のアルファ線検出器の開発を目的に、六方晶6H-SiC上に作製したpnダイオードへ
線照射及び電子線照射を行い電荷収集の変化を調べた。pnダイオードは、p型6H-SiCエピタキシャル膜にリンイオン注入(800
C)後、熱処理(1650C,3分間、Ar中)することでn
領域を形成し作製した。線は
Co線源により室温で1MR/hのレートにて250Mradまでの照射を行った。電子線照射は2MeVのエネルギーで1
10
/cm
まで行った。
Amより放出される4.3MeVアルファ線を用いて電荷収集を測定した。またマイラー膜にてエネルギー減衰させることで1.8MeVアルファ線についても電荷収集測定を行った。その結果、250Mradまでの線照射,110/cmの電子線照射によっても電荷収集効率は低下しないことが明らかとなり、SiCの検出器としての優れた耐放射線性が明らかとなった。また、空乏層内でイオンが停止する1.8MeVアルファ線の場合は電荷収集効率が100%となることが見いだされた。
no abstracts in English
使用言語 |
: | English |
|---|---|---|
掲載資料名 |
: | |
巻 |
: | 541 |
号 |
: | 1-2 |
ページ数 |
: | p.213 - 220 |
発行年月 |
: | 2005/04 |
発表会議名 |
: | 5th International Symposium on Development and Application of Semiconductor Tracking Detectors |
開催年月 |
: | 2004/06 |
開催都市 |
: | Hiroshima |
開催国 |
: | Japan |
キーワード |
: |
論文URL |
: |
|
|---|---|---|
使用施設 |
: | |
論文解説記事 |
: | |
受委託・共同研究相手機関 |
: |
Access |
: |
- Accesses |
|---|---|---|
InCites™ |
: |
パーセンタイル：84.86 分野：Instruments & Instrumentation |
Altmetrics |
: |
[CLARIVATE ANALYTICS], [WEB OF SCIENCE], [HIGHLY CITED PAPER & CUP LOGO] and [HOT PAPER & FIRE LOGO] are trademarks of Clarivate Analytics, and/or its affiliated company or companies, and used herein by permission and/or license.
