Development of a high-energy heavy ion microbeam system at the JAERI AVF cyclotron

原研AVFサイクロトロンにおける高エネルギー重イオンマイクロビームシステムの開発

佐藤 隆博; 及川 将一*; 酒井 卓郎; 奥村 進; 倉島 俊; 宮脇 信正; 福田 光宏; 横田 渉; 神谷 富裕

Sato, Takahiro; Oikawa, Masakazu*; Sakai, Takuro; Okumura, Susumu; Kurashima, Satoshi; Miyawaki, Nobumasa; Fukuda, Mitsuhiro; Yokota, Wataru; Kamiya, Tomihiro

日本原子力研究所高崎研究所のAVFサイクロトロンにおいて、空間分解能1mの走査型集束方式高エネルギー重イオンマイクロビーム形成システムの開発を行っている。これは、半導体デバイスの放射線耐性試験や生物医学におけるマイクロサージェリーに用いられる。スリット, ビームスキャナ, 四重極電磁石等の主要な機器の設置は2002年に終了し、2003年から試験運転を開始したので、これまでの結果について報告する。

A focused high-energy heavy ion scanning microbeam system with a spatial resolution of about 1m is being developed at the AVF cyclotron of JAERI-Takasaki. It will provide microbeams to applications such as radiation tolerance testing of semiconductor devices and radio microsurgery in biomedical science with single ion hit technique. The main system components (slits, a beam scanner, quadrupole magnets and so on) had been installed in 2002. Test operations have been carried out since last year. We report the results obtained so far.