Effect of damage on transient current waveform observed in GaAs schottky diode by single ion hit

シングルイオンヒットによりGaAsショットキーダイオードで観測された過渡電流波形に対する損傷の効果

平尾 敏雄; Laird, J. S.; 小野田 忍; 若狭 剛史; 伊藤 久義

Hirao, Toshio; Laird, J. S.; Onoda, Shinobu; Wakasa, Takeshi; Ito, Hisayoshi

荷電粒子が半導体中を通過する際、シングルイベント効果と呼ばれる電離作用による過渡電流パルスの発生はよく知られている。われわれはシングルイベント発生機構の解明とモデル構築を行う研究の一環として、短時間で発生する過渡電流波形の測定を実施し、入射イオンと発生電荷量との関係等のデータの蓄積を図っている。本研究では、GaAsショットキーダイオードを試料とし、イオンで発生する損傷が過渡電流の伝搬に及ぼす影響を明らかにするため、入射イオンの増加に伴う過渡電流波形の低下を系統的に調べ、損傷の効果について議論する。

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