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六フッ化ウランおよびフッ素ガスに対する試作質量分析計の特性

A Mass spectrometer for the analysis of uranium hexafluoride

藤沢 銀治; 橋本 均; 岩崎 又衛; 辻村 重男

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UF$$_{6}$$とそれに含まれる不純物の分析を目的として、日立RMU-6L型質量分析計の試料導入系、イオン源、排気系を改造し、質量分析計を試作した。UF$$_{6}$$、F$$_{2}$$に対する特性試験の結果、フッ素処理がUF$$_{6}$$と反応しやすい系内不純物の除去に有効であること、UF$$_{6}$$のフラッシングによる再現性が向上し、UF$$_{6}$$全導入量が1$$mu$$g程度の領域までリザーバー圧力とUF$$_{5}$$$$^{+}$$ピーク間に良い直線性が得られることを見出した。

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