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光感受性累積膜の製作及び微細パターンの作製を目的として5種類のジアセチレン誘導体の累積膜を作製し、KrFエキシマーレーザー光による光化学反応の研究を行った。これらの累積膜のうちで、ベンタジイノイツク酸について最も好結果が得られ、0.3
mの分解能が得られた。このパターン生成は、1,4位置における架橋によって起こるものと考えられる。
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パーセンタイル：53.56 分野：Chemistry, Multidisciplinary |
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