レーザ光による被覆管外表面欠陥の検査法開発(第1報)

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三浦 信; 角田 直己; 佐藤 政一*; 稲田 栄一*; 五十嵐 幸; 妹尾 重男

Miura, Makoto; Tsunoda, Naomi; Sato, Seiichi*; not registered; Igarashi, Miyuki; Seno, Shigeo

レーザ光による被覆管外表面欠陥の自動検査技術開発に着手した。第1段階として,欠陥検出のための検査装置を試作し,これによって,欠陥検出,識別の基礎となる被覆管外表面欠陥によるレーザ反射光のパターンを収集した。検査装置はレーザ発生部,走査部,受光部をもつ本体と信号処理装置からなっている。被覆管健全部,典型的な欠陥からのレーザ反射光をスクリーンに映し,パターンを写真撮影し,欠陥形状との関係を調べた。またこれらのパターンのレーザビーム径による変化,試料への入射方向による変化も試験された。この結果,欠陥形状によりレーザ反射パターンは特徴のある形を示し,レーザビーム径は細い方が感度がよく,ビーム径により検出しベル設定が可能であることがわかった。これに関連して,レーザビーム径の測定法を開発し,解析の手段とした。

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