結晶配向性酸化タングステンのガスクロミック着色に伴う結晶構造変化

Crystal structure change in oriented tungsten oxide thin film according to gaschromic coloring

Inoue, Aichi; Takano, Katsuyoshi; Yamamoto, Shunya; Nagata, Shinji*; Shikama, Tatsuo*

光学式水素センサーの開発を行うため、反応性RFマグネトロンスパッタ法を用いて作製した結晶配向性酸化タングステン膜を水素暴露させたときの結晶構造の変化をX線回折(XRD)法で、水素暴露後の膜内の水素分布の変化を反跳粒子検出法及びラザフォード後方散乱法を用いて調べた。アルゴンと酸素の分圧が135及び20mPaになるように混合した雰囲気中で、金属タングステンをスパッタさせ、600 $^{circ}$ Cに保持した石英及びGlassy Carbon上に、結晶配向性酸化タングステン膜を堆積させた。その表面に15nmのパラジウムを堆積させた試料に対して、水素曝露前後における結晶構造を評価した結果、単斜晶系WO $_{3}$ の(020)に配向している膜が着色するに伴い正方晶系に変形することが明らかになった。また、同様な試料に対して水素曝露前後における元素組成比を定量した結果、H $_{0.45}$ WO $_{3.0}$ の組成がH $_{0.68}$ WO $_{3.0}$ に変化した。このことから、水素ガスによる着色に伴い正方晶のタングステンブロンズ(H $_{X}$ WO $_{3}$ )が形成したと予想できた。

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使用言語	:	Japanese
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発行年月	:
発表会議名	:	日本金属学会2007年春期(第140回)大会
開催年月	:	2007/03
開催都市	:	習志野
開催国	:	日本
キーワード	:	no keyword

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使用施設	:	TIARA(イオン照射研究施設)
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受委託・共同研究相手機関	:	東北大学

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登録番号 : BB20070049
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