ZrNiAlCu合金のイオンミキシング効果

Ion-mixing of Zr-Ni-Al-Cu alloy

Nagata, Shinji*; Tsuchiya, Bun*; Yubuta, Kunio*; Shikama, Tatsuo*; Inoue, Aichi; Yamamoto, Shunya

金属ガラスに及ぼすイオンミキシング効果を評価するため、ZrNiAlCu合金バルク材及びスパッタ薄膜に0.5から1MeVのAg及びAuイオンを照射し、試料表面近傍の元素濃度の変化について検討した。室温でAuイオンを照射した試料の元素濃度分布をRBS法によって調べた結果、照射量によって注入されたAu原子の濃度分布が計算結果と異なることが明らかになった。照射量が110 $^{20}$ ions/m $^{2}$ までは注入Au原子濃度分布は飛程分布に一致するが、さらに照射量が増加するとAuの表面への拡散が観測された。さらに、薄膜試料に膜厚と同等の飛程を有したイオンを照射すると、基板界面近傍において構成原子の混合が起こり、とくにZr原子の基板側への拡散が見られた。以上より、金属ガラスにおいてミキシング効果によるイオン注入原子及び金属ガラス構成原子の材料表面及び基板界面への拡散を確認できた。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:
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発行年月	:
発表会議名	:	日本金属学会2007年秋期(第141回)大会
開催年月	:	2007/09
開催都市	:	岐阜
開催国	:	日本
キーワード	:	no keyword

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使用施設	:	TIARA(イオン照射研究施設)
広報プレスリリース	:
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受委託・共同研究相手機関	:	東北大学

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登録番号 : BB20071845
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