Development of low-loss millimeter-wave devices using fluororesin

フッ素材料を用いた低損失高周波デバイスの開発

伊藤 直樹*; 間瀬 淳*; 近木 祐一郎*; 立石 尚之*; 瀬古 典明; 玉田 正男; 坂田 栄二*

Ito, Naoki*; Mase, Atsushi*; Kogi, Yuichiro*; Tateishi, Naoyuki*; Seko, Noriaki; Tamada, Masao; Sakata, Eiji*

ミリ波車載レーダやイメージングシステムの高性能化には効率の良い小型平面アンテナの開発が不可欠である。アンテナを形成する基板に低損失の材料を使用することが有効であり、フッ素樹脂(PTFE)基板が用いられている。フッ素基板は他の材料に比べて誘電率や誘電正接といった電気的な特性が良い反面、親水性が低いため、フッ素基板と導体パターン(一般的に銅)の付着力が低いという問題があった。そこで、フッ素基板の表面改質を行うために、グラフト重合法により親水性基の導入を行い、物性評価を行った。その結果、カルボン酸を付与させた試料に対してスパッタリング法により銅箔の付着を行ったのち、90度剥離試験法を用いて剥離強度の測定を行ったところ、PTFEにおいて、0.4kgf/cm(未処理品)に対して、約1.0kgf/cm(放射線グラフト重合処理品)となり、銅とPTFEの付着力を改善することができた。

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