エキシマレーザー照射によるh-BNからのアブレーションプラズマの特性

Characterization of ablation plasma from h-BN by excimer laser irradiation

大場 弘則  ; 佐伯 盛久; 江坂 文孝  ; 山田 洋一; 山本 博之; 横山 淳

Oba, Hironori; Saeki, Morihisa; Esaka, Fumitaka; Yamada, Yoichi; Yamamoto, Hiroyuki; Yokoyama, Atsushi

h-BNを真空中にてレーザーアブレーションさせた時の放出プラズマの挙動を調べた。四重極型質量分析計とイオンプローブを用いて放出種の時間分解検出を行った。プラズマの電離度はレーザーパワー密度の増大に伴って15%程度まで高くなること、イオンは中性粒子よりも高い運動エネルギーで上昇することが観測され、また空間分布ではイオンの方が中性粒子よりも上方に収束されたビームを形成することがわかった。このように、アブレーション放出プラズマ中のイオンと中性粒子の挙動が大きく異なることから、この結果はイオンと中性粒子とを区別してイオンのみを利用することにより、微粒子の付着のない良質の薄膜が作製できることを示している。

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