イオン照射炭素表面上へのAu及びPtナノ粒子形成

Formation of Au and Pt nanoparticles on ion irradiated graphite substrates

高廣 克己*; 森本 圭一*; 安田 賢司*; 川口 和弘; 永田 晋二*; 山本 春也; 鳴海 一雅; 楢本 洋*

Takahiro, Katsumi*; Morimoto, Keiichi*; Yasuda, Kenji*; Kawaguchi, Kazuhiro; Nagata, Shinji*; Yamamoto, Shunya; Narumi, Kazumasa; Naramoto, Hiroshi*

基板上に蒸着した金属ナノ粒子は、バルク金属とは異なる電気的・磁気的・光学的特性を示すことから、ナノ粒子を用いた新たなデバイスの作製など応用が期待されている。本研究では、1keV Arイオン照射により高配向性熱分解グラファイト(HOPG)基板表面に欠陥を導入し、この欠陥が真空蒸着における金(Au)及び白金(Pt)のナノ粒子形成に及ぼす影響について調べた。X線光電子分光法により未照射及びAr照射したHOPG基板上に1010atoms/cmの蒸着量で形成されたAu及びPt粒子のサイズの評価した結果、Ar照射したHOPG基板上に、より微小なナノ粒子が形成されることが明らかになった。これは、イオン照射により導入された欠陥が蒸着粒子の核形成点になると考えられ、イオン照射が金属ナノ粒子のサイズ,形状制御に有効であることが示唆された。

no abstracts in English