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$$beta$$-FeSi$$_{2}$$単結晶表面の放射光を用いたX線光電子分光法及びX線吸収分光法による分析

Surface characterization of $$beta$$-FeSi$$_{2}$$ single crystal by synchrotron-radiation X-ray photoelectron spectroscopy and X-ray absorption spectroscopy

江坂 文孝 ; 山本 博之; 鵜殿 治彦*; 松林 信行*; 山口 憲司; 社本 真一  ; 間柄 正明 ; 木村 貴海 

Esaka, Fumitaka; Yamamoto, Hiroyuki; Udono, Haruhiko*; Matsubayashi, Nobuyuki*; Yamaguchi, Kenji; Shamoto, Shinichi; Magara, Masaaki; Kimura, Takaumi

鉄シリサイドには多様な相・組成が存在し、それぞれ金属,磁性体,半導体などの特有の性質を有している。特に半導体である$$beta$$-FeSi$$_{2}$$は、波長1.55$$mu$$m領域の発光・受光素子や、その発光波長が石英光ファイバーの最低損失波長に近いことから光通信デバイスなどへの幅広い応用が期待されている。鉄シリサイドは実用化を目的にさまざまな方法で作製が試みられ、その構造はX線回折法や電子顕微鏡などにより評価されている。一方、最表面領域($$sim$$nm)の構造は、エピタキシャル成長などにおいて重要な役割を果たすにもかかわらず、組成,化学状態に関する情報がほとんど得られていない。本研究では、放射光からのエネルギー可変X線を励起源とした高エネルギー光電子分光法及びX線吸収分光法により鉄シリサイドの最表面の化学状態について評価を行った。

Surface characterization of $$beta$$-FeSi$$_{2}$$ single crystal has been performed by synchrotron-radiation X-ray photoelectron spectroscopy and X-ray absorption spectroscopy.

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