高水素化DLC膜への真空紫外線照射効果

Effect of VUV exposures to the hydrogenated diamond-like carbon films

横田 久美子*; 田川 雅人*; 古山 雄一*; 神田 一浩*; 戸出 真由美; 吉越 章隆 ; 寺岡 有殿

Yokota, Kumiko*; Tagawa, Masahito*; Furuyama, Yuichi*; Kanda, Kazuhiro*; Tode, Mayumi; Yoshigoe, Akitaka; Teraoka, Yuden

本研究では水素含有量54%の高水素化ダイヤモンドライクカーボン(DLC)への真空紫外線照射による水素脱離を評価し、軟X線照射効果と比較した結果について報告する。真空紫外線照射による試料の弾性反跳粒子検出(ERDA)スペクトルから、照射時間の増加とともに表面から0.5ミクロンまでの領域で水素が減少することがわかった。一方、軟X線照射によるERDAスペクトルの変化からは、DLC膜全体にわたって水素の減少が観察され、真空紫外線よりも顕著な水素脱離反応が生じていることがわかった。また、いずれの場合にもDLC膜厚の変化は認められない。これらの結果から、光励起によるDLCの非破壊水素脱離の深さ分布には、波長依存性が顕著に現れることが明らかになった。

In this study, hydrogen desorption from highly-hydrogenated diamond-like-carbon (DLC) containing 54% hydrogen via vacuum ultraviolet light irradiation was investigated and compared to that of soft X-ray irradiation. An elastic recoil detection analysis (ERDA) spectrum showed the decrease of hydrogen up to 0.5 micrometer depth with increasing the dose of vacuum ultraviolet light. On the other hand, an ERDA spectrum for the soft X-ray irradiation revealed that the decrease of hydrogen from a whole depth, that is, hydrogen desorption reactions took place remarkably comparing to the vacuum ultraviolet light irradiation. In both cases, the thickness of DLC film did not change at all. These facts showed that a depth profile of hydrogen desorption via light excitation depended considerably on wavelength.