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GEM基板を用いたゲート機能の開発

Developments of gate functioning used GEM

佐藤 進; 佐甲 博之; 長谷川 勝一; 杉村 仁志; 市川 裕大; 小沢 恭一郎; 木内 隆太*; Hwang, S. H.*; 今井 憲一

Sato, Susumu; Sako, Hiroyuki; Hasegawa, Shoichi; Sugimura, Hitoshi; Ichikawa, Yudai; Ozawa, Kyoichiro; Kiuchi, Ryuta*; Hwang, S. H.*; Imai, Kenichi

GEM基板を電子増幅部に用いたTPC飛跡検出器を開発しているが、GEM基板にゲート機能を合わせて持つような動作手法を開発している。今回は、エッチングを用いた穴形成をしたGEM基板の作成を試みた。既存のTPCの試作機(ワイヤーを用いたゲート機能を持っている)の形状に合わせるにより、試験が行いやすい形状にした。又、幾つかの穴形状が試験できるように、エッチングの方法を工夫した。透過度を向上するため、できるだけ薄い薄膜を用いて製作した。

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