微小試験片を用いた陽電子消滅寿命評価手法の開発

Development of PALS evaluation technique using a miniature specimen

安藤 太一*; 山脇 正人*; 平出 哲也  ; 秋吉 優史*

Ando, Hirokazu*; Yamawaki, Masato*; Hirade, Tetsuya; Akiyoshi, Masafumi*

陽電子寿命計測法(PALS)は金属、半導体などの物質中のナノメートルサイズの欠陥を評価する上で有用な手段である。しかし、PALS測定では陽電子源の両側に2枚の平らな試験片が必要であったため、1つの複雑な形状の小さな試験片にPALSを適用することは困難であった。本研究の目的は、複雑な形状を有する1つの小さな試料に適用可能なPALS手法を開発することであり、1つの試料でPALSスペクトルを測定することに成功した。

Positron lifetime measurement (PALS) is a useful tool for evaluating nanometer-sized defects in materials such as metals and semiconductors. However, PALS measurement required two flat specimens placed at both sides of the positron source therefore it was difficult to apply PALS for one complicated shaped small specimen. Purpose of this research is developing a PALS method that can be applied for one small specimen having complicated shape. We succeeded to measure PALS spectra with just one specimen.