アルミ酸化膜を用いた不揮発メモリの電子状態の観測

Electronic structure in resistance random access memory effect in alumina

Kubota, Masato; Kato, Seiichi*; Nigo, Seisuke*; Amemiya, Kenta*

メモリ動作を示すアルミ酸化膜に対して、元素選択的な電子状態を知るために、放射光吸収スペクトル測定を行った。オン状態では、酸素の吸収スペクトルのバンドギャップ内にサブピークが出現することを明らかにした。一方、アルミニウムの吸収スペクトルには、オン・オフ状態で顕著な変化は観測されなかった。酸素サイト周辺の電子がメモリ動作時に影響していることを意味している。

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使用言語	:	Japanese
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発表会議名	:	日本物理学会2020年秋季大会(物性)
開催年月	:	2020/09
開催都市	:	熊本(online)
開催国	:	日本
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登録番号 : BB20200343
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