レーザー誘起ブレークダウン分光法(LIBS)を用いた金属ホウ化物の表面硬さ測定への適用検討,2; 組成が複雑な金属ホウ化物試験体の表面分布測定

Applicability of metal boride hardness measurement using Laser-Induced Breakdown Spectroscopy (LIBS), 2; Element distribution of metal boride specimens with complicated composition

岡崎 航大*; 川上 智彦*; 長山 咲子*; 阿部 雄太  ; 大高 雅彦; 幕内 悦予*; 大石 佑治*; 高貝 慶隆*

Okazaki, Kodai*; Kawakami, Tomohiko*; Nagayama, Sakiko*; Abe, Yuta; Otaka, Masahiko; Makuuchi, Etsuyo*; Oishi, Yuji*; Takagai, Yoshitaka*

レーザー誘起ブレークダウン分光法(LIBS)は試料の前処理が不要で分析精度も兼ね備えたその場計測手法である。本報では、ホウ素系化合物を測定対象として、その硬さとホウ素濃度との相関性に着目し、LIBSで得られる元素組成情報(ホウ素/金属比)とビッカース硬さ情報の同時計測手法としての適用検討結果を報告する。

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