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西堂 雅博; H.Gnaser*; W.O.Hofer*
Applied Physics A, 40, p.197 - 202, 1986/00
被引用回数：22 パーセンタイル：72.75(Materials Science, Multidisciplinary)酸素雰囲気におけるモリブデンのスパッタリング特性について、スパッタリングによって放出される中性粒子および二次イオンの質量分析を行なうことにより調べた。照射イオンとして、8keVAr
イオンを使用し、照射は、2つの異なる温度、25
Cと485Cで行なった。高い温度で起こるスパッタリング収率の特徴的な増加は、ビーム誘起脱離によるMoO
及び衝突カスケードによるMoOそれぞれの放出量の増加に起因することが判明した。また、同時に、酸素の取り込み量について測定したが、ビーム照射と熱拡散に起因して表面附近に取り込まれる気相系からの酸素の量は、25Cの場合に比べて、高い温度では、増加することが判明した。
H.Gnaser*; 西堂 雅博; J.von.Seggern*; W.O.Hofer*
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 15, p.169 - 172, 1986/00
被引用回数：15 パーセンタイル：83.33(Instruments & Instrumentation)代表的な表面分析装置の1つである二次イオン質量分析装置を改造した二次イオン質量分析/スパッタ原子質量分析装置(SIMS/SNMS装置)の特性評価を行う目的で、モリブデンおよびインジウム金属からスパッタ放出されるスパッタ原子および二次イオンの酸素雰囲気下における放出挙動について調べた。 得られた実験結果は以下の事柄を支持している。 SIMS測定は定量性には欠けるが、感度が良い。一方SNMS測定は、その感度はSIMS測定より1~2桁低いが、定量性が良い。従って、両方の利点を生かした表面分析装置であるSIMS/SNMS装置は、感度の良い、しかも定量性のある測定が可能である。
西堂 雅博; H.L.Bay*; J.Bohdansky*; J.Roth*
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 13, p.403 - 407, 1986/00
被引用回数：12 パーセンタイル：79.75(Instruments & Instrumentation)モリブデンの酸素雰囲気下におけるスパッタリング特性を調べた。 照射イオンとして、重水素イオンおよびヘリウムイオンを使用し、測定として、重量法によるスパッタリング率測定およびコレクター法によるスパッタ粒子の放出角度分布測定を行なった。 ヘリウムイオン照射の場合、酸素分圧の増加に伴って、スパッタリング率は減少し、元の値の約40~20%となる。又、放出角度分布は、酸素分圧依らず同じ分布を示した。 重水素イオン照射の場合、スパッタリング率は酸素分圧に依らず、一定の値をとる。これは、表面で打ち込まれた重水素と酸素とが反応し、DOを生じ、これが脱離するため、酸素の効果が弱められていることを示している。
