西堂 雅博; 荻原 徳男; 嶋田 道也; 新井 貴; 平塚 一 
; 小池 常之; 清水 正亜; 二宮 博正; 中村 博雄; 神保 龍太郎*; 柳生 純一; 杉江 達夫; 逆井 章; 朝倉 伸幸; 山華 雅司*; 菅井 秀郎*; G.L.Jackson*
Saido, Masahiro; Ogiwara, Norio; Shimada, Michiya; Arai, Takashi; Hiratsuka, Hajime; not registered; Shimizu, Masatsugu; Ninomiya, Hiromasa; Nakamura, Hiroo; not registered; Yagyu, Junichi; Sugie, Tatsuo; Sakasai, Akira; Asakura, Nobuyuki; not registered; not registered; G.L.Jackson*
JT-60Uにおいて、プラズマ不純物の低減を図ることを目的に、デカボランを用いたボロンコーティングを2度実施した。ボロンコーティングにより作製されたボロン被膜の膜厚、元素組成及びその分布を走査型電顕、オージェ電子分光法、核反応解析法により測定し、以下の事が明らかになった。(1)デカボラン吹き出し口付近の膜厚は80nmであるのに対して、トロイダル方向に約180°離れた場所での膜厚は約2nmとうすく、不均一な分布となっている。(2)H濃度は約10%である。(3)ボロン含有量は90%以上であり、H以外含まず純度が高い。これら膜の特性と、プラズマ不純物低減効果との関係について考察した。
no abstracts in English
使用言語 |
: | English |
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掲載資料名 |
: | |
巻 |
: | 32 |
号 |
: | 7 |
ページ数 |
: | p.3276 - 3281 |
発行年月 |
: | 1993/07 |
キーワード |
: | JT-60U; Decaborane; Boron Coating; Plasma Impurity; AES; NRA; Depth Profile |
論文URL |
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論文解説記事 |
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Access |
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- Accesses |
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InCites™ |
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パーセンタイル：90.95 分野：Physics, Applied |
Altmetrics |
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