水橋 清; 宇野 定則; 大越 清紀 
; 千葉 敦也; 山田 圭介; 齋藤 勇一; 石井 保行; 酒井 卓郎; 佐藤 隆博; 横田 渉; 石井 正博*; 織茂 貴雄*; 高山 輝充*; 江夏 昌志*; 大前 昭臣*; 北野 敏彦*; 金井 信二*
Mizuhashi, Kiyoshi; Uno, Sadanori; Okoshi, Kiyonori; Chiba, Atsuya; Yamada, Keisuke; Saito, Yuichi; Ishii, Yasuyuki; Sakai, Takuro; Sato, Takahiro; Yokota, Wataru; Ishii, Masahiro*; Orimo, Takao*; Takayama, Terumitsu*; Koka, Masashi*; Omae, Akiomi*; Kitano, Toshihiko*; Kanai, Shinji*
2004年度のタンデム加速器,シングルエンド加速器,イオン注入装置の運転時間はそれぞれ、1914.9時間,2490.7時間,1844.9時間であった。保守・整備では、長期間整備しなかった箇所を重点を置くとともに、タンデム加速器ではSF6ガスのリーク対策を行った。新ビーム開発では、タンデム加速器で錫(Sn)の負イオン,イオン注入装置でリチウム(Li)の正イオンを新たに加速した。技術開発では、タンデム加速器のチェーンスピードを調整する方式によって電圧安定度を1.2
2.4E-4の範囲で制御することを可能にした。シングルエンド加速器では無誘導型電圧測定抵抗を開発し、3MVの運転を安定にした。
no abstracts in English
使用言語 |
: | English |
|---|---|---|
掲載資料名 |
: | |
巻 |
: | |
号 |
: | |
ページ数 |
: | P. 371 |
発行年月 |
: | 2006/01 |
発表会議名 |
: | |
開催年月 |
: | 2005/06 |
開催都市 |
: | 高崎 |
開催国 |
: | 日本 |
キーワード |
: | Electrostatic Accelerator; Tandem Accelerator; Single-ended Accelerator; Ion Implanter; Voltage Stablity; Pellet Chain Speed Adjust with Inverter; Negative Ion; Positive Ion |
論文URL |
: |
|
|---|---|---|
使用施設 |
: | |
論文解説記事 |
: |
Access |
: |
- Accesses |
|---|---|---|
Altmetrics |
: |
[CLARIVATE ANALYTICS], [WEB OF SCIENCE], [HIGHLY CITED PAPER & CUP LOGO] and [HOT PAPER & FIRE LOGO] are trademarks of Clarivate Analytics, and/or its affiliated company or companies, and used herein by permission and/or license.
