High sensitive gasochromic hydrogen sensors using tungsten oxide thin films

酸化タングステンを用いた高感度水素ガスセンサー

高野 勝昌; 山本 春也; 吉川 正人; 井上 愛知; 杉山 僚

Takano, Katsuyoshi; Yamamoto, Shunya; Yoshikawa, Masahito; Inoue, Aichi; Sugiyama, Akira

持続的発展をめざす水素社会の安全性を確保するには、着火源となる電源を必要としない高感度の水素センサーの開発が不可欠である。本研究では、水素に接触すると着色するガスクロミック材料を利用した水素センサーの開発を進めている。今回は、高周波スパッタ法を用いて形成したパラジウムと酸化タングステンの2層構造を最適化して水素検知素子を作製した。それをコア径50mの光ファイバーケーブルの先端に接続して水素センサーを試作し、その性能の評価を行った。その結果、体積濃度1%の水素に対して、実用上求められる性能(反応時間が1秒以内、飽和着色率は95%以上)を満たすことに成功し、光学式水素センサーを水素検知材料と光ファイバーによって構築できることを検証した。

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