Advanced fabrication method of planar components for plasma diagnostics

プラズマ診断に用いる材料表面の高度な加工方法

伊藤 直樹*; 間瀬 淳*; 近木 祐一郎*; 瀬古 典明; 玉田 正男; Shen, Z.*; Yang, L.*; Domier, C. W.*; Luhmann, N. C. Jr.*; 坂田 栄二*

Ito, Naoki*; Mase, Atsushi*; Kogi, Yuichiro*; Seko, Noriaki; Tamada, Masao; Shen, Z.*; Yang, L.*; Domier, C. W.*; Luhmann, N. C. Jr.*; Sakata, Eiji*

アンテナ材料をミリ波適応材料として作製するために、低電力損失の特性を有するフッ素高分子を用いてその評価を行った。これまで、銅との蒸着面とフッ素高分子表面との接着性が弱いという問題が挙げられていた。この問題を解決するために、放射線グラフト重合によりフッ素基板表面に親水性モノマーであるアクリル酸を導入し、フッ素高分子表面の改質を図った。その結果、銅と基板との接着率を1.5倍に向上させることができた。

As the importance of plasma imaging diagnostics increases, the fabrication of high performance millimeter-wave planar components becomes essential. This paper describes the development of high performance millimeter-wave planar components such as antennas and filters using low-loss fluorine substrate. The problems to be solved are low degree of adhesion between copper foil and fluorine substrate and shape of antenna pattern. In order to solve the problems, surface treatment of fluorine films and a fabrication method using Electro Fine Forming (EF2) are utilized.